企业新闻
服务咨询热线
联系方式
QQ咨询
banner
四甲基氢氧化铵(TMAH)浓度在线监测仪在半导体行业应用介绍
当前位置:主页 > 新闻资讯 > 企业新闻 >
四甲基氢氧化铵(TMAH)浓度在线监测仪在半导体行业应用介绍
发布者:楚一测控  来源:原创  发布时间:2017-03-28 10:14
 长沙楚一测控专业开发及生产四甲基氢氧化铵(TMAH)浓度在线监测仪(检测仪、测量仪)、四甲基氢氧化铵(TMAH)在线浓度计、TMAH在线折光仪(折射仪)、四甲基氢氧化铵浓度在线测量仪、TMAH折射仪浓度计;显影液在线浓度检测仪,显影液在线测定 ,在线TMAH浓度仪。

  四甲基氢氧化铵(TMAH),在电子行业中广泛用作FT-LCD、IC正胶显影剂、硅晶蚀刻剂、CMP过程超纯清洗剂,同时也是液晶显示器中的显像液。随着电子工业日新月异的发展,PCB技术也在飞速发展。作为PCB图形成像之关键工序——显影,直接影响着线路品质及阻焊的品质,显影的品质要求不能有显影不净,不能有显影过度,不能有掉线和绿油脱落等,显影露铜点50% ~ 60%(一半显影段)。因此显影液浓度的控制对显影工序起着非常重要的作用。

  例如:根据工艺要求需要将现存的浓度为20%的TMAH洁净液稀释到目标浓度2.48%,需要在线仪表提供准确TMAH浓度测量,已达到精确配置目标浓度显影液的目的。目前国内常用采样后分析系统测量TMAH的浓度,测量过程大概需要20分钟时间,该方式不具备实时性,过程管道的浓度变化无法及时监测到,导致调控滞后。为了提高生产量,显影液的配对效率需要提高,缩短配比的时间,需要在线实时对TMAH的浓度进行监控,完善工艺控制要求。采用折光原理的TMAH在线浓度仪能够满足在线检测要求,且测量精度高。

  四甲基氢氧化铵(TMAH在线浓度计利用折光的原理测得溶液的折光率,折光率与TMAH溶液的浓度有极好的对应关系。通过换算从而得到溶液的实际浓度。这种测量原理稳定性好,精度高,它适用于管道安装或容器壁处的安装,以及其它等多种安装方式。

四甲基氢氧化铵(TMAH浓度计的优点:
 1.在线连续检测,不再需要人工频繁取样实验室检测,节省大量人力、财力
 2.消除人工检测误差,保证产品一致性
 3.连续测量,迅速反馈,提升产品质量
 4.提高自动化程度,相关的浓度数据可通过组网的形式与中控室连接
 5.不受溶液气泡、压力影响(与密度法相比)

CY-TMAH在线浓度传感器

产品型号 CY-TMAH-A CY-TMAH-D
测量范围 0.0 至30.0%
分 辨 率 ( Brix ):0.1%   温度:0.1°C
测量精度  ±0.1%    温度 ±0.5°C
测量温度  5至 100°C  (自动温度补偿)
环境温度 5至 40°C
输入电源 DC 24V
关键材质 传感器壳体:SUS316L  
信号输出 DC4 至 20mA RS-232
防护等级 IP67   防尘、防溅水
最高压力 < 1MPa
产品尺寸 ¢99X175
选 购 件 *清洗组件CY-CL77
*CY-TMAH-D建议选配CY-MC浓度控制仪使用


在线客服系统在线咨询
360网站安全检测平台